25年蝕刻領(lǐng)域?qū)崙?zhàn)經(jīng)驗(yàn),擁有上萬次成功案例,500強(qiáng)企業(yè)的信賴。

作為長(zhǎng)三角高端制造核心節(jié)點(diǎn),上海不銹鋼蝕刻加工以微米級(jí)精度、復(fù)雜結(jié)構(gòu)批量化及綠色制造標(biāo)準(zhǔn)形成產(chǎn)業(yè)競(jìng)爭(zhēng)力。依托本地集成電路、生物醫(yī)藥等產(chǎn)業(yè)集群,上海不銹鋼刻蝕加工在精密電子與醫(yī)療器械領(lǐng)域建立全國(guó)性技術(shù)壁壘。
標(biāo)準(zhǔn)化加工流程(六大環(huán)節(jié))
1. 基材預(yù)處理(潔凈度奠基)
不銹鋼板經(jīng)堿性脫脂(濃度5%-12%)、酸洗活化(H?SO? 10%-15%)及純水超聲清洗(電阻率≥15MΩ·cm),表面油污殘留≤3μg/cm2。部分高端上海不銹鋼腐蝕加工產(chǎn)線增加等離子清洗工序,實(shí)現(xiàn)納米級(jí)界面活化。
2. 精密掩膜制備(圖形化核心)
涂布工藝:滾涂/旋涂5-30μm光刻膠,厚度均勻性≤±0.5μm
圖形轉(zhuǎn)移:
紫外曝光(365nm,分辨率5μm)
DLI激光直寫(精度±1.5μm,最小線寬0.01mm)
此環(huán)節(jié)決定上海不銹鋼蝕刻的側(cè)壁垂直度(88°-92°)。
3. 化學(xué)蝕刻反應(yīng)(動(dòng)態(tài)控制)
蝕刻液體系:定制FeCl?-HNO?混合液(濃度15%-40%)
關(guān)鍵參數(shù):
溫度恒控38±0.5℃(超溫1℃?zhèn)任g增加15%)
噴淋壓力0.2-0.4MPa(流速≥18L/min·m2)
時(shí)間梯度3-30分鐘(深度精度±3%)
上海不銹鋼刻蝕加工通過PH值實(shí)時(shí)監(jiān)控確保蝕刻均勻性。
4. 后處理精飾(功能升級(jí))
脫膜鈍化:堿性溶液剝離殘膠,電解拋光(粗糙度Ra≤0.1μm)
強(qiáng)化處理:
鈍化形成Cr?O?保護(hù)層(耐鹽霧≥96h)
PVD鍍膜(厚度1-5μm,電阻率≤5μΩ·cm)
此工藝體現(xiàn)上海不銹鋼腐蝕加工的跨領(lǐng)域技術(shù)整合。
5. 全維質(zhì)檢(零缺陷輸出)
尺寸檢測(cè):激光共聚焦顯微鏡(精度0.1μm)驗(yàn)證微孔陣列(公差±1.5μm)
性能測(cè)試:氦質(zhì)譜檢漏(氣密性≤5×10?? Pa·m3/s)
上海不銹鋼蝕刻出廠合格率≥99.8%。
核心應(yīng)用場(chǎng)景
1. 集成電路關(guān)鍵部件
蝕刻0.05mm厚引線框架(共面性≤15μm),占上海不銹鋼刻蝕加工產(chǎn)能40%,支撐7nm芯片封裝國(guó)產(chǎn)化。
2. 高端醫(yī)療器械
制造微創(chuàng)手術(shù)刀片(刃口精度0.005mm)、植入式傳感器基板,通過ISO 13485認(rèn)證,展現(xiàn)上海不銹鋼腐蝕加工的醫(yī)工結(jié)合能力。
3. 新能源轉(zhuǎn)換器件
燃料電池鈦雙極板(流道深度0.1mm±3μm)、電解槽電極網(wǎng)(開孔率75%),助力上海不銹鋼蝕刻切入氫能賽道。
4. 精密光學(xué)組件
蝕刻紅外儀支架(平面度≤1.2μm/100mm),熱變形量較傳統(tǒng)工藝降低70%。
技術(shù)演進(jìn)與綠色升級(jí)
瓶頸突破
超薄加工:0.03mm箔材蝕刻(翹曲變形≤0.15mm/m)
合金兼容:攻克鎳鈦記憶合金蝕刻(側(cè)蝕比≤1.05)
上海不銹鋼刻蝕加工技術(shù)水平達(dá)國(guó)際先進(jìn)。
綠色制造
廢液再生:膜電解技術(shù)回收90%金屬離子
智慧管理:AI驅(qū)動(dòng)工藝參數(shù)優(yōu)化(能耗降22%)
上海不銹鋼腐蝕加工碳排放強(qiáng)度達(dá)DB31/933-2015標(biāo)準(zhǔn)。
產(chǎn)業(yè)價(jià)值與發(fā)展趨勢(shì)
國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程
2025年長(zhǎng)三角蝕刻件市場(chǎng)規(guī)模突破80億元,上海不銹鋼蝕刻在芯片封裝領(lǐng)域替代進(jìn)口率超60%。
創(chuàng)新方向
復(fù)合工藝:蝕刻-激光焊接一體化(效率提升30%)
智能化產(chǎn)線:機(jī)器視覺100%在線質(zhì)檢(良品率+15%)
上海不銹鋼刻蝕加工技術(shù)迭代加速高端制造自主可控進(jìn)程。
上海不銹鋼蝕刻加工通過六環(huán)節(jié)標(biāo)準(zhǔn)化流程,實(shí)現(xiàn)微米級(jí)精密制造與多場(chǎng)景覆蓋。兼具技術(shù)深度與生態(tài)寬度的上海不銹鋼腐蝕加工體系,正重塑長(zhǎng)三角高端制造業(yè)的全球競(jìng)爭(zhēng)力版圖。
